Máy nén khí không dầu cho phòng thí nghiệm bán dẫn

Để thiết lập các dây chuyền tiện ích đáng tin cậy cho các cơ sở nghiên cứu chính xác, hãy tìm nguồn từ Máy nén khí không dầu Trung Quốc dành cho các nhà cung cấp Phòng thí nghiệm bán dẫn. Các giải pháp không khí có độ tinh khiết cao của DECHUAN sử dụng các vòng đệm cách ly carbon nhiều lớp để loại bỏ vết hydrocarbon, đảm bảo chất lượng khí nguyên sơ cho quá trình ăn mòn silicon quan trọng.

Yêu cầu quan trọng về độ tinh khiết của khí phòng sạch

Trong chế tạo chất bán dẫn và in thạch bản màng mỏng, ngay cả một giọt hơi dầu cực nhỏ truyền qua đường dẫn khí cũng có thể làm hỏng toàn bộ lô sản xuất. Sản phẩm chuyên biệt này được thiết kế để đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về độ tinh khiết:

• Phân phối không khí Loại 0 được chứng nhận TÜV: Hệ thống của chúng tôi trải qua quá trình kiểm tra nghiêm ngặt ở các nhiệt độ vận hành khác nhau. Phân tích độc lập xác nhận hoàn toàn không có dấu vết dầu trong luồng khí đầu ra.

• Đường dẫn khí bên trong không bị ăn mòn: Mỗi đoạn ống, bó làm mát và ma trận phân tách ở phía sau buồng nén đều được làm bằng thép không gỉ cao cấp để ngăn chặn các mảnh rỉ sét làm nhiễm bẩn đường dẫn khí trong phòng sạch.

• Tích hợp Elektronikon® nâng cao: Bộ điều khiển tích hợp theo dõi chặt chẽ các số liệu vận hành và có tính năng tắt an toàn chủ động để đảm bảo không có không khí tạp chất nào xâm nhập vào mạng lưới phòng thí nghiệm.

Chi phí cao của ô nhiễm vi mô trong thiết bị điện tử

Trong chế tạo tấm bán dẫn, một giọt dầu khí có thể làm ô nhiễm toàn bộ môi trường phòng sạch, làm hỏng hàng nghìn tấm bán dẫn và khiến hàng triệu người mất thời gian sản xuất. Máy nén khí truyền thống không thể đảm bảo độ tinh khiết tuyệt đối không chứa hydrocarbon cần thiết cho các quy trình ở quy mô nanomet này.

Máy nén khí không dầu chuyên dụng dành cho Phòng thí nghiệm bán dẫn đảm bảo an ninh quy trình thuần túy:

• Luồng khí được chứng nhận LỚP 0: Được TÜV kiểm tra nghiêm ngặt trong các phạm vi nhiệt độ và áp suất cực cao để đảm bảo không có dầu tuyệt đối.

• Bộ phận bên trong không có hạt: Bộ làm mát sơ bộ bằng thép không gỉ và bộ trao đổi nhiệt dạng cánh sao giúp loại bỏ các vảy oxy hóa hoặc sự phát tán hóa chất trong đường dẫn khí.

• Tấm chắn giám sát điện tử: Cảnh báo bảo trì chủ động và tự động tắt khi xảy ra lỗi giúp ngăn chặn những sai lệch của hệ thống trước khi chúng đến các công cụ phòng sạch của bạn.

Thông số độ tinh khiết kỹ thuật

• Định mức công suất hệ thống: Cấu hình mật độ cao 55kw - 900kw.

• Tốc độ phân phối theo thể tích: 4,2 - 148,5 m³/phút đầu ra luồng sạch.

• Phân loại hàm lượng dầu: Chứng nhận hoàn toàn không dầu theo tiêu chuẩn ISO 8573-1 Loại 0.

• Bố trí làm mát: Làm mát bằng chất lỏng bằng thép không gỉ ngăn chặn sự thoát khí hóa học.

Các điều kiện tham chiếu hiệu suất của thiết bị được đo theo Phụ lục C, ấn bản thứ 4 (2009) của ISO 1217:

· Độ ẩm tương đối: 0%

· Áp suất tuyệt đối đầu vào: 1 bar

· Nhiệt độ đầu vào: 20°C Tốc độ xả (FAD) được đo ở áp suất vận hành sau:

Loại tốc độ không đổi:

·  -7,5 loại thanh: 7 thanh

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· Loại -10 thanh: 9 thanh

Loại VSD:

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· -10,4 thanh loại: 9 thanh

· (2) Mức áp suất âm thanh phát ra theo trọng số loại A của máy trạm (LpWSAd). Đo theo tiêu chuẩn ISO 2151:2004 (sử dụng phương pháp quét cường độ âm thanh 150 9614/2). Hệ số hiệu chỉnh mới được thêm vào là giá trị hoàn toàn không chắc chắn (KpAd), phù hợp với mã kiểm tra.

· (3) Trọng lượng chỉ mang tính chất tham khảo; trọng lượng thực tế được cung cấp sẽ chiếm ưu thế.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Theo ISO 1217 Phụ lục C, Phiên bản thứ 4 (2009), các điều kiện tham chiếu hiệu suất của thiết bị như sau:

· Độ ẩm tương đối: 0%

· Áp suất tuyệt đối đầu vào: 1 bar

· Nhiệt độ đầu vào: 20°C

FAD dịch chuyển được đo ở áp suất vận hành sau:

Mô hình tốc độ không đổi:

Model -7,5 thanh: 7 thanh

Model -8,6 thanh: 7 thanh

-Mẫu 10 thanh: 9 thanh

Mô hình VSD:

Model -8,6 thanh: 7 thanh

Model -10,4 thanh: 9 thanh

(2) Mức áp suất âm thanh phát ra theo trọng số Loại A của máy trạm (LpWSAd). Đo theo tiêu chuẩn ISO 2151:2004 (phương pháp quét cường độ âm thanh ISO 9614/2). Hệ số hiệu chỉnh KpAd mới được thêm vào là không chắc chắn, tuân thủ mã kiểm tra.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Trọng lượng chỉ mang tính chất tham khảo; trọng lượng thực tế sẽ được áp dụng.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Độ ẩm tương đối: 0%

-Áp suất tuyệt đối đầu vào: 1bar

-Nhiệt độ đầu vào: 20°C

Tốc độ xả (FAD) được đo ở áp suất vận hành sau

Loại tốc độ không đổi:

-7,5 thanh loại: 7 thanh

-8.6 loại thanh: 7 thanh

-10 thanh loại: 9 thanh

VSDloại:

-8.6 loại thanh: 7 thanh

-10,4 thanh loại: 9 thanh

(2) Mức áp suất âm thanh phát ra theo trọng số Loại A của máy trạm (LpWSAd).

Đo theo tiêu chuẩn ISO 2151:2004 (sử dụng 150 9614/2(phương pháp quét cường độ âm thanh).

Hệ số hiệu chỉnh mới được thêm vào là giá trị hoàn toàn không chắc chắn (KpAd), phù hợp với mã kiểm tra.

(3) Trọng lượng chỉ mang tính chất tham khảo; trọng lượng thực tế được cung cấp sẽ chiếm ưu thế.

300-750 ZR

Các điều kiện tham chiếu hiệu suất của thiết bị được đo theo Phụ lục C, ấn bản thứ 4 (2009) của ISO 1217:

· Độ ẩm tương đối: 0%

· Áp suất tuyệt đối đầu vào: 1 bar

· Nhiệt độ đầu vào: 20°C Tốc độ xả (FAD) được đo ở áp suất vận hành sau:

Loại tốc độ không đổi:

·  -7,5 loại thanh: 7 thanh

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· Loại -10 thanh: 9 thanh

Loại VSD:

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· -10,4 thanh loại: 9 thanh

· (2) Mức áp suất âm thanh phát ra theo trọng số loại A của máy trạm (LpWSAd). Đo theo tiêu chuẩn ISO 2151:2004 (sử dụng phương pháp quét cường độ âm thanh 150 9614/2). Hệ số hiệu chỉnh mới được thêm vào là giá trị hoàn toàn không chắc chắn (KpAd), phù hợp với mã kiểm tra.

· (3) Trọng lượng chỉ mang tính chất tham khảo; trọng lượng thực tế được cung cấp sẽ chiếm ưu thế.

ZR 200X-400X

Các điều kiện tham chiếu hiệu suất của thiết bị được đo theo Phụ lục C, ấn bản thứ 4 (2009) của ISO 1217:

· Độ ẩm tương đối: 0%

· Áp suất tuyệt đối đầu vào: 1 bar

· Nhiệt độ đầu vào: 20°C Tốc độ xả (FAD) được đo ở áp suất vận hành sau:

Loại tốc độ không đổi:

·  -7,5 loại thanh: 7 thanh

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· Loại -10 thanh: 9 thanh

Loại VSD:

· -8,6 thanh loại: 7 thanh

· -10,4 thanh loại: 9 thanh

· (2) Mức áp suất âm thanh phát ra theo trọng số loại A của máy trạm (LpWSAd). Đo theo tiêu chuẩn ISO 2151:2004 (sử dụng phương pháp quét cường độ âm thanh 150 9614/2). Hệ số hiệu chỉnh mới được thêm vào là giá trị hoàn toàn không chắc chắn (KpAd), phù hợp với mã kiểm tra.

· (3) Trọng lượng chỉ mang tính chất tham khảo; trọng lượng thực tế được cung cấp sẽ chiếm ưu thế.

Nghiên cứu trường hợp người dùng phòng thí nghiệm phòng sạch

Một nhà sản xuất thiết bị điện tử ở Châu Á đã lắp đặt hệ thống không khí chuyên dụng của DECHUAN để cung cấp vòng tạo nitơ có độ tinh khiết cao và cánh tay thử nghiệm khí nén. Trước đây, máy nén tiêu chuẩn cho phép hơi dầu vết di chuyển qua các bộ lọc nội tuyến, phủ các thấu kính in thạch bản và gây ra các vết nứt vi mô trong lớp phủ wafer. Sau khi lắp đặt Máy nén khí không dầu cho Phòng thí nghiệm bán dẫn, phòng thí nghiệm đã báo cáo không có sự cố nhiễm bẩn đường ống nào liên quan đến dầu, tiết kiệm đáng kể chi phí vệ sinh và hiệu chuẩn lại phòng sạch trong hai năm hoạt động liên tục.

Điều chỉnh và kiểm soát thành phần tùy chỉnh

• Nâng cấp vật liệu thép không gỉ: Chúng tôi thay thế tất cả các bộ phận đúc bên trong tiêu chuẩn bằng thép không gỉ cao cấp để đáp ứng các nguyên tắc nghiêm ngặt về ô nhiễm vi mô.

• Giao thức liên lạc nâng cao: Thiết bị được cài sẵn các giao thức liên lạc chuyên dụng, cho phép các trung tâm điều khiển phòng sạch giám sát các chỉ số không khí từ xa.

• Dấu chân kết cấu nhỏ gọn: Cách bố trí bên trong được tối ưu hóa để giảm thiểu dấu chân, giúp dễ dàng lắp đặt trong không gian tiện ích chật hẹp ở tầng hầm của phòng thí nghiệm.

Câu hỏi thường gặp về người mua công nghiệp

Câu hỏi: Chúng tôi có thể kết nối trực tiếp máy nén này với các vòng lọc có độ tinh khiết cực cao (UHP) không?

Trả lời: Có, đầu ra không khí của chúng tôi hoàn toàn tương thích với máy sấy hút ẩm phòng sạch tiên tiến và hệ thống lọc hạt siêu nhỏ. Vì không khí thô không chứa hơi dầu nên các bộ lọc chuyên dụng tại điểm sử dụng của bạn sẽ không bị tắc do sương dầu, giúp kéo dài tuổi thọ của bộ lọc.

Hỏi: Làm thế nào để phốt loại Z đảm bảo không có sự di chuyển dầu khỏi cụm bánh răng?

Trả lời: Máy nén khí không dầu dành cho Phòng thí nghiệm bán dẫn có không gian thông gió vật lý giữa vỏ bánh răng được bôi trơn bằng dầu và buồng nén khô. Vòng đệm carbon không tiếp xúc chuyên dụng được ghép nối với các kênh áp suất âm, đảm bảo mọi sương mù dầu bánh răng bị chặn hoàn toàn xâm nhập vào luồng không khí sạch.

Hỏi: Điều gì xảy ra nếu cảm biến nhiệt độ bên trong phát hiện kết quả bất thường?

Đáp: Bộ điều khiển Elektronikon® lấy mẫu dữ liệu quan trọng nhiều lần trong một giây. Nếu phát hiện nhiệt độ tăng đột biến ở bất kỳ giai đoạn nào, hệ thống sẽ ngay lập tức kích hoạt chế độ tắt tự động và đóng các van cách ly, đảm bảo không khí không được làm mát không bao giờ chảy xuôi vào thiết bị nhạy cảm trong phòng thí nghiệm của bạn.